中国古代御史制度，萌芽于先秦，在秦汉时期已初具规模，到唐代则已经比较成熟、健全和定型。此后，宋、元、明、清各朝又适应本身的社会历史条件进行了增改，一直延续了两千多年，也是今天我国监察制度的历史渊源。
秦汉： 御史大夫之职正式设立
御史的名称，在我国周代就已经有了，属于史官一类。随着社会生产力和生产关系的发展，秦汉以后，御史从史官中逐渐分离出来，成为了专门执掌纠弹之任的监察官员。
秦汉时期，御史大夫之职正式设立。“御史大夫，秦官，位上卿，银印青绶，掌副丞相”，御史大夫与丞相、太尉并称“三公”。西汉后期，御史大夫转为大司空，其属下的御史中丞出居外台，这就是日后御史台的雏形。
然而，这时御史大夫的主要职责是协助丞相处理朝政，御史大夫与丞相合称为“两府”，丞相出现空缺，则由御史大夫迁叙。御史大夫名义上是最高监察官，但他同时又是副丞相，因而监察职能相对有限。至于御史中丞，汉代本居殿中兰台，负责管理图书秘籍、接受公卿奏事、举劾案章，外督部刺史，内领侍御史，从其职掌来看，也没有成为一个专掌监察的独立机构的长官。
同时，汉代的监察权，除御史中丞所领外，尚有丞相府司直察天下郡国百僚；司隶校尉察三辅（汉代京畿地区分为京兆、左冯翊、右扶风，合称“三辅”）、三河（汉代河内、河南、河东三郡合称“三河”）及弘农七郡，又有丞相史出刺地方和特察使巡察州郡，故监察权分散而不集中。东汉时，御史中丞在组织上尚属于少府。总之，秦汉时期监察权和行政权彼此重叠，监察机构尚未完全独立。
唐代：御史台成为
独立完整的监察机构
从曹魏开始，御史台正式脱离少府，成为独立的中央监察机构，直属皇帝。同时，御史台长官御史中丞也脱离少府的管辖，成为独立的监察官，由皇帝任命。至此，御史台已经具有基本独立的监察权。
隋初，设御史台为最高监察机关。炀帝时增设谒者、司隶二台，由御史、谒者、司隶三台共掌监察。炀帝还罢御史入值禁中之制，御史因此离开宫禁，专隶外台，不再为君主近侍之臣。此时御史台机构尚不统一，监察权尚不集中。
唐代的御史台是一个完整的机构，有自己的一套职官系统。御史台的最高长官是御史大夫和御史中丞，下设台院、殿院和察院，分别由侍御史、殿中侍御史和监察御史任职。三院监察官品阶不同，职掌分明，构成一个十分严密的系统。
在整个唐朝，御史台名称虽屡有变易，但其机构却基本保持不变，御史台机构具有相对的完整性和系统性。就整个监察制度而言，御史台已成为一个独立完整的监察机构，其内部分工细密，职责分明，并为后世所承袭。宋、元、明、清的监察制度，很多都可在唐制中找到其源头。
宋元明清：根据自身情况增改御史制度
宋代初期承袭唐制设御史台为最高监察机关，以御史大夫为长官，但是向无实任，实际上形成了御史中丞主领台务的惯例。台院置侍御史1人，殿院置殿中侍御史2人，察院置监察御史6人，不仅人员比唐代减少，而且由于实行差遣制任职，御史多兼任它职，其他官员又兼领御史之职，御史台管理和监察权行使模糊，三院往合一的方向演化。北宋开始设立言事御史，“监察御史兼言事”，台谏同称“风宪之地”，形成了御史与谏官合一态势。地方上则设置转运司、提点刑狱司、提举常平司等“监司”，形成上下相维、环环相扣的地方分权监察体制。
元代御史台与中书省、枢密院鼎足而立，御史台的地位提高了。但是，改台院为殿中司，台院的职权并入察院，殿中侍御史仅设两名，察院成为御史台主体，御史台内部组织继续趋于一元化。
元代监察制度最重要的特点之一是创设了“行御史台”制度。行御史台作为中央御史台的派出机构，每个行御史台管辖若干道（省）。除行御史台外，还建立提刑按察司、肃政廉访司，作为地方监察机构，从而形成御史台、行御史台、各道监察司三级监察结构。
明代对监察体制作了较大改革，把御史台更名为都察院，把御史台的三院制改为都察院的一院制。明代最重要的创建则是使御史分巡天下成为定制，创立了“巡按御史”制度。巡按御史“代天子巡狩”，直接对皇帝负责，并与地方按察司互相配合，形成了双重监察体制。另外，总督、巡抚都带都察院都御史或副都御史衔。
清初沿用明制，设都察院，但是实行“科道合一”。雍正把专察六部的六科合并于都察院，在都察院下设十五道监察御史，左都御史和左副都御史主领都察院院务，率下属六科给事中、各道御史对中央各部和地方行使监察权。清代地方上则在各省设立按察使司（俗称“臬司”或“臬台”）等，并设立名目繁多的专门和临时监察机构，构建了网络密集的监察体制。
